NEXTRON Micro Probe System
マイクロプローブシステムマイクロプローブシステムは超小型のチャンバを備え、試料の電気的特性および光学的特性の解析に適しています。真空、温度、ガス、湿度、光照射、X線などのさまざまな環境条件下において、電気的・光学的特性をその場で測定できることが特長です。 |
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このプローバーの最大の特長は、プローブモジュールが柔軟な動作機構を備えており、熱膨張によって生じる接触位置のずれにも滑らかに追従し、安定した接触状態を維持できる点です。 |
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Why NEXTRON Smart Probe ?
Smart Tracking Probe Why NEXTRON Smart Probe ? |
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＊MTTインスツルメンツ株式会社はNEXTRON社の日本独占販売代理店です。 ＊最新カタログPDF版は「お問い合わせ」よりお申込みください。 お問い合わせ
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製品納入実績 |
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温度範囲に応じた5つのバージョンをご用意 |
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標準チャンバMPS-PT （温度範囲：-40～+200℃）
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MPS-PTH （温度範囲：-40～+170℃）
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MPS-CHL （温度範囲：RT～+450℃）
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MPS-CHU （温度範囲：RT～+1000℃）
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MPS-LN （温度範囲：80K～RT） 
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ピエゾモジュール搭載マイクロプローブシステム Piezo Module Micro Probe System (PZMPS) ピエゾ駆動機構により、温度・真空・ガスなどの制御環境下において外部から高精度な位置決めが可能なプローブシステムです。
電動プローブモジュール（ピエゾアクチュエータ式） 
精密測定においては、安定性と高分解能の確保が極めて重要です。ピエゾ駆動ポジショナは、遠隔微動位置決めを可能にする最適なソリューションを提供します。NEXTRONのピエゾ駆動マイクロプローブシステムは、目的位置への高精度なプロービングを実現します。コンタクトパッドが極めて微小な場合でも、先端径10 µmのプローブチップにより正確な測定が可能です。 |
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特殊チャンバXRDマイクロプローブシステム（XRD装置搭載用プローブ付き環境制御システム） XRD Micro Probe System (Environment System with Probes for Mounting XRD Machine) XRDマイクロプローブシステムは、高温・高真空環境下においてその場XRD測定を可能にするプローブステーションです。 NEXTRON独自の手動プローブにより、試料への電圧印加および電流測定が可能です。
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LCCチップ用マイクロプローブシステム Micro Probe System for LCC Chip (LCCMPS)
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ホール測定用マイクロプローブシステム Hall Measurement Micro Probe System (HMMPS) ホール測定用マイクロプローブシステムは、従来型電磁石との組み合わせを前提に設計されており、電気伝導測定、特にホール効果測定に適したプローブシステムです。本システムは、NEXTRON の環境制御装置と互換性があり、温度、真空、湿度、ガス雰囲気を含む包括的な環境制御が可能です。さらに、NEXTRON独自の四端子プローブ構成を備えており、磁場下その場測定などの高度な磁気実験に対応し、制御された環境下で高精度な測定および解析を実現します。 |
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ラマン電池テストチャンバ In-situ Raman Battery Test Chamber (RBC-2EP) ラマン電池チャンバは、電池断面のラマン測定が可能です。アノード、カソード、セパレーター層間の界面挙動を明らかにします。 本システムは、液体電解質電池および全固体電池のオペランド研究用に設計されています。 また、電解液の注入が容易で、試料準備も簡便に行え、信頼性が高く効率的なその場測定を実現します。 |
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高周波用GSGプローブ搭載マイクロプローブシステム RF Micro Probe System with GSG Probe (RFMPS) 最大40 GHz対応、XYZマイクロポジショニング機構付きGSGプローブ搭載高周波測定用マイクロプローブシステム。 |
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ストレチャブル プローブシステム In-situ Stretchable Probe System ストレチャブル プローブシステムは、伸び縮みする平面デバイスおよびフレキシブルデバイスに対して、電気特性評価を実現し、従来のクランプ固定方式に伴う制約を解消します。 |
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システム構成 （周辺機器） |
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専用統合ソフトウェア |
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